本发明公开了调节装置、影像测量仪及其光轴与Z轴平行调节方法，属于测量调节技术领域，调节装置包括：第一座体；第二座体，通过第一调节件与第一座体相连接，第一调节件用于调节第二座体与第一座体之间连接的松紧，以使第二座体可相对于第一座体在第一平面内转动；第三座体，通过第二调节件与第二座体相连接，第二调节件用于调节第三座体与第二座体之间连接的松紧，以使第三座体可相对于第二座体在第二平面内转动，待调节件安装于第三座体上；其中，第一平面与第二平面相交。本发明公开的调节装置，可实现稳定地多角度细调待调节物，以便于稳定地细调影像测量仪的影像测量器并使其光轴与Z轴平行。