环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器
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摘要
一种环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器，所述环形支撑结构包括：壳体；环形凸部，沿所述壳体内周壁凸设置；支撑部，沿所述环形凸部外边缘向上延伸，所述支撑部上设置多个导气槽口。本发明能够在降低加工误差积累的前提下减少零配件数量和零配件接触面积，防止温漂等原因造成的零配件之间的机械迟滞，从而提高测量精度。
基本信息
专利标题 ：
环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110987281A
申请号 ：
CN201911212383.8
公开（公告）日 ：
2020-04-10
申请日 ：
2019-11-29
授权号 ：
CN110987281B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
林琳李超波郑旭张心强郜晨希王迪刘瑞琪靳毅陈林远雁
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
吴梦圆
优先权 ：
CN201911212383.8
主分类号 ：
G01L9/12
IPC分类号 ：
G01L9/12
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/12
利用电容量变化的
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-05-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 9/12
申请日 : 20191129
申请日 : 20191129
2020-04-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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