多量值计量标准器以及多量值计量标准器制备方法

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摘要

本申请提供一种多量值计量标准器以及多量值计量标准器制备方法。通过第一正方形结构(S1)、第二正方形结构(S2)、第三正方形结构(S3)以及长方形结构(P)等结构，可以任意组合构造出多量值计量标准器。此时，多量值计量标准器具有量值多、量值范围宽、且可结合集成电路工艺节点和精密测量需求，根据多量值纳米结构构建所对应的标准器量值等优点，为半导体制备工艺线的关键尺寸、关键线宽、特征纳米结构等提供准确测量依据，为大型精密仪器提供便携的原位的校准多个参考量值。多量值计量标准器解决了传统标准器的单一量值只能校准一个量程的弊端，提升了应用领域和量值传递的可靠性与一致性。

基本信息

专利标题：

多量值计量标准器以及多量值计量标准器制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110986846A

申请号：

CN201911257083.1

公开（公告）日：

2020-04-10

申请日：

2019-12-10

授权号：

CN110986846B

授权日：

2022-04-29

发明人：

朱振东谭峭峰屈继峰高思田

申请人：

中国计量科学研究院

申请人地址：

北京市朝阳区北三环东路18号

代理机构：

北京华进京联知识产权代理有限公司

代理人：

赵永辉

优先权：

CN201911257083.1

主分类号：

G01B21/04

IPC分类号：

G01B21/04