一种判断静电传感器工作是否正常的方法
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摘要
一种判断静电传感器工作是否正常的方法,属静电测量领域。在静电传感器中设置单片机模块,对静电传感器的工作电压、工作频率进行实时监控,使得静电传感器具有自动检查工作电压是否正常或正确,以及自我监测振动电极的振动频率是否正确,并自动校正振动频率维持在设定检测频率的功能。确保静电传感器始终处于有效的监测状态下,当其丧失静电检测能力时,即时报警输出。可广泛用于静电传感器的设计和制造领域。
基本信息
专利标题 :
一种判断静电传感器工作是否正常的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111122991A
申请号 :
CN201911405918.3
公开(公告)日 :
2020-05-08
申请日 :
2019-12-30
授权号 :
CN111122991B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
孙卫星杨庆瑞罗先军李鹏
申请人 :
上海安平静电科技有限公司
申请人地址 :
上海市闵行区金都路4299号B幢2017室92座
代理机构 :
上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
蔡海淳
优先权 :
CN201911405918.3
主分类号 :
G01R29/12
IPC分类号 :
G01R29/12 G01R35/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R29/00
不包括在G01R19/00至G01R27/00各组中的电量的测量或指示装置
G01R29/12
静电场的测量
法律状态
2022-05-13 :
授权
2020-06-02 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 29/12
申请日 : 20191230
申请日 : 20191230
2020-05-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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