探针卡清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种探针卡清洗装置。所述探针卡清洗装置包括：清洗槽，用于容纳清洗液，且所述清洗槽的底部具有排液口；支架，固定于所述清洗槽内，用于支撑所述探针卡；至少一超声波换能器，与所述清洗槽连接，用于驱动所述清洗槽中的清洗液在超声波频率下振动；至少一第一喷口，位于所述清洗槽内，用于向位于所述清洗槽内的探针卡喷射气体，以去除残留于所述探针卡表面的清洗液。本实用新型在实现对探针卡高效清洁的同时，避免了对探针卡中探针表面的损伤，提高了探针卡的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
探针卡清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920402741.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-27
授权号 ：
CN209969058U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
肖佳明王永耀
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201920402741.0
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/08 B08B13/00 F26B21/00 H01L21/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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