一种匀胶机样品托盘

授权

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种匀胶机样品托盘，其不同之处在于：其包括上部的托盘腔体和下部的中空柱体，所述托盘腔体顶部中央位置设有圆柱形凸起结构的承片台，所述承片台用于放置待匀胶基片，承片台中心位置设有真空吸孔，所述真空吸孔向下贯穿托盘腔体，并与中空柱体的空腔部分相连通；所述中空柱体下部柱面上设有用于固定的固定凹槽。本实用新型可兼容各种碎片形式基片，吸附牢固。

基本信息

专利标题：

一种匀胶机样品托盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920412160.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-03-29

授权号：

CN209849212U

授权日：

2019-12-27

发明人：

翟浩王岩罗帅季海铭

申请人：

江苏华兴激光科技有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧

代理机构：

武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

邓寅杰

优先权：

CN201920412160.5

主分类号：

B05C13/02

IPC分类号：

B05C13/02