太阳能扩散机械手配套预吹气装置
授权
摘要
本实用新型涉及太阳能硅片生产领域。太阳能扩散机械手配套预吹气装置，该预吹气装置安装在硅片进出口位置，该预吹气装置为一个壁厚为9.5‑10mm、长度为420‑430mm、直径为49‑50mm的密封聚乙烯PE管，所述聚乙烯PE管的一侧面等间隔布置有10个直径为13‑13.5mm的喷气孔（1），靠左侧的喷气孔（1）到左端面的距离等于靠右侧的喷气孔（1）到右端面的距离，左端面和右端面中心各有一个直径为11‑12mm的进气口（2）。从而根本解决了由于扩散机械手分不开片子给工艺带来的影响。
基本信息
专利标题 ：
太阳能扩散机械手配套预吹气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920416249.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-29
授权号 ：
CN210110715U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
李艳芝苗杰王森涛焦朋府苑虎梁玲张奇雄姚乐
申请人 ：
山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请人地址 ：
山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
代理机构 ：
太原市科瑞达专利代理有限公司
代理人 ：
李富元
优先权 ：
CN201920416249.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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