太阳能电池扩散设备
避免重复授权放弃专利权
摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池加工技术领域,特别是一种太阳能电池扩散设备,包括扩散炉和机台排风端,扩散炉内产生的废气通过管道从机台排风端排出,机台排风端安装排风压力控制阀和相应的排风压力控制器。抽气排风压力稳定后,磷在硅片中的注入浓度稳定后,方块电阻也随之稳定,可以提升最终太阳能电池的效率5%。

基本信息
专利标题 :
太阳能电池扩散设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820031097.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-01-28
授权号 :
CN201171053Y
授权日 :
2008-12-24
发明人 :
马祥柱单惠标仝斌许结刚
申请人 :
常州天合光能有限公司
申请人地址 :
213031江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
代理机构 :
常州市维益专利事务所
代理人 :
王凌霄
优先权 :
CN200820031097.2
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  
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法律状态
2011-03-09 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101071099992
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利号 : ZL2008200310972
申请日 : 20080128
授权公告日 : 20081224
放弃生效日 : 20080128
2008-12-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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