一种硅太阳能电池扩散炉

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摘要

本实用新型涉及一种扩散炉，具体涉及一种硅太阳能电池扩散炉。本实用新型的扩散炉包括炉体、进气管和排气管，所述进气管一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，并沿炉体轴向延伸至载片石英舟的末端上方，炉体内的进气管部分设置有若干个喷淋口；所述排气管设置于炉体的底部，一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，炉体内排气管的长度为20‑35厘米。本实用新型一方面将排气石英管的炉内长度缩短，减小自重，使得石英管炉尾支点处杆杆力减小，石英管不易折断；另一方面将磷源进气管增长，进气管由一根增加至两根，两根进气管对称分布在与所述载片石英舟呈45度角的上方，并设置斜后45度喷淋口，磷源在管内分布更均匀，硅片扩散方阻更均匀。

基本信息

专利标题：

一种硅太阳能电池扩散炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021532223.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-29

授权号：

CN212542461U

授权日：

2021-02-12

发明人：

汪松柏姜勇飞徐明靖孙俊杰

申请人：

无锡尚德太阳能电力有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区新华路9号

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

曹祖良

优先权：

CN202021532223.X

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/223 C30B31/06