一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉
授权
摘要
本实用新型公开一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉,其特征在于:包括传送浆、硅片承载舟、炉门、炉管、加热器、进气系统和抽气系统,所述炉门设在所述炉管的管口处,所述加热器设在所述炉管外管壁上,所述进气系统与所述炉管连通,所述抽气系统与所述炉管连通,所述传送浆设在所述炉门外侧,所述传送浆一次负载一个所述硅片承载舟传送入所述炉管,所述炉管容纳硅片承载舟数量为二个以上,所述硅片承载舟内为均匀分布的硅片。采用多个硅片承载舟进炉管同时扩散的方式,大大提高晶硅太阳能电池扩散炉产量的目的。
基本信息
专利标题 :
一种高产能晶硅太阳能电池扩散炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922212805.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-11
授权号 :
CN211734532U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
石强林纲正陈刚
申请人 :
浙江爱旭太阳能科技有限公司
申请人地址 :
浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
代理机构 :
浙江杭州金通专利事务所有限公司
代理人 :
金丽英
优先权 :
CN201922212805.3
主分类号 :
C30B31/14
IPC分类号 :
C30B31/14 C30B31/16 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺;其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/14
衬底夹持器或基座
法律状态
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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