非晶硅或微晶硅太阳能电池制造装置及其串接系统

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明公开了一种非晶硅或微晶硅太阳能电池制造装置，它包括多个真空镀膜室、真空系统、气路装置，所述多个真空镀膜室列绕于中央真空转换区(10)周围，中央真空转换区(10)内设有马达驱动的机械臂(11)，各镀膜室与中央真空转换区(10)之间由气动闸阀(9)相隔离。所有镀膜室和工作区可同时操作，大大提高了生产效率。可根据需求而加延i层镀膜室以增加出产量，因此本发明可灵活地调整结构，进一步提高生产效率。本发明适宜于电池的连续工业化生产，成本低，光伏转化率高达12％－14％。

基本信息

专利标题：

非晶硅或微晶硅太阳能电池制造装置及其串接系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1793417A

申请号：

CN200510022512.9

公开（公告）日：

2006-06-28

申请日：

2005-12-22

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

吴海生成顺康黄金鹿成砾吴娟王秀娟

申请人：

姜堰新金太阳能光伏制造有限公司

申请人地址：

225500江苏省姜堰市高新技术创业中心(新328国道南侧)

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200510022512.9

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24 H01L31/0216