晶硅太阳能电池的扩散方法及其应用
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种晶硅太阳能电池的扩散方法，对制绒后的硅片涂覆液态扩散源并烘干，对覆有扩散源的硅片进行激光掺杂，对完成激光掺杂的硅片进行链式高温推结和氧化处理，完成扩散PN结和表面PSG的制备。本发明可以制备扩散PN结，还能更好地控制方阻的一致性、提高方阻的均匀性。本发明与当前主流PERC电池制程契合度很高，可以直接代替传统扩散工序、加入PERC电池的制程中。
基本信息
专利标题 ：
晶硅太阳能电池的扩散方法及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114464701A
申请号 ：
CN202210046733.3
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
任常瑞孙海杰董建文张佳舟符黎明
申请人 ：
常州时创能源股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210046733.3
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/225 H01L31/068
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20220117
申请日 : 20220117
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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