一种MEMS皮拉尼真空计
授权
摘要
本实用新型提供一种MEMS皮拉尼真空计，包括衬底和悬置结构，衬底具有凹槽，悬置结构设于凹槽的上方；悬置结构包括平台、第一电阻元件和悬臂梁，平台通过悬臂梁与衬底相连，第一电阻元件设置于平台远离凹槽的一侧，第一电阻元件为面内回转结构分布；第一电阻元件的第一端从悬臂梁上引出电极相连，第一电阻元件的第二端从悬臂梁上引出电极相连；衬底的顶面还设有第二电阻元件，第二电阻元件环绕悬置结构设置。该实用新型皮拉尼真空计利用第二电阻件元件消除第一电阻元件的真空度测量误差，节约成本，提高测量精度。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS皮拉尼真空计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920430935.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-01
授权号 ：
CN209878208U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
刘烨露钟榴刘海花夏烨
申请人 ：
上海圭革智能传感技术有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区叶城路925号B区4幢J3417室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920430935.1
主分类号 ：
G01L21/12
IPC分类号 ：
G01L21/12 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
G01L21/10
通过测量介质热导率的变化而测出介质压力的
G01L21/12
检测测量元件电阻变化的，例如，细丝的电阻变化的；皮拉尼型真空计
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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