皮拉尼真空计连接装置和炉管机台
授权
摘要
本实用新型涉及一种皮拉尼真空计连接装置和炉管机台。所述装置包括：设置有管状传感器的皮拉尼真空计、炉管、弯管和紧固件；所述管状传感器通过所述紧固件与弯管的一端连通；所述弯管的另一端通过所述紧固件与炉管的管口连通。本实用新型的皮拉尼真空计连接装置和炉管机台，通过在皮拉尼真空计与炉管的管口之间增加弯管，使得皮拉尼真空计与炉管的管道形成夹角，生产过程中炉管内通入的气体优先在弯管内形成沉积，有效的改善了皮拉尼真空计易堵塞的问题，延长了皮拉尼真空计的使用寿命，降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
皮拉尼真空计连接装置和炉管机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021187279.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-23
授权号 ：
CN212030813U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
刘晨成
申请人 ：
和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘小峰
优先权 ：
CN202021187279.6
主分类号 ：
G01L21/12
IPC分类号 ：
G01L21/12 H01L21/67 C23C14/54 C23C16/52
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
G01L21/10
通过测量介质热导率的变化而测出介质压力的
G01L21/12
检测测量元件电阻变化的，例如，细丝的电阻变化的；皮拉尼型真空计
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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