炉管清洗装置
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种炉管清洗装置,可应用于半导体制造技术领域,该清洗装置包括酸槽、水槽、导轨、传送臂和升降装置,所述导轨位于所述酸槽和所述水槽上方,所述传送臂安装于所述导轨上,并沿所述导轨传送炉管,所述升降装置与所述导轨相连,用于升降所述炉管,其中,所述酸槽包含第一酸槽和第二酸槽,所述传送臂包含第一传送臂和第二传送臂,且所述第一酸槽和所述第二酸槽分别位于所述水槽的两侧。本实用新型的炉管清洗装置解决了现有炉管清洗中的设备利用率较低的问题,同时还具有减少设备购置费及设备占地面积的优点。

基本信息
专利标题 :
炉管清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620048221.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-11-28
授权号 :
CN200988041Y
授权日 :
2007-12-12
发明人 :
庄忠尔元文帅
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市浦东新区张江路18号
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
逯长明
优先权 :
CN200620048221.7
主分类号 :
B08B9/02
IPC分类号 :
B08B9/02  B08B3/08  B08B3/02  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
法律状态
2016-12-28 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101693577537
IPC(主分类) : B08B 9/02
专利号 : ZL2006200482217
申请日 : 20061128
授权公告日 : 20071212
终止日期 : 无
2012-12-19 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101487391629
IPC(主分类) : B08B 9/02
专利号 : ZL2006200482217
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20121115
2007-12-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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