一种炉管配件清洗装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种炉管配件清洗装置，所属半导体硅片加工设备清洗技术领域，包括清洗槽，所述的清洗槽上方设有上机架，所述的上机架与清洗槽间设有长清洗网笼和短清洗网笼，所述的长清洗网笼与上机架间、短清洗网笼与上机架间均设有升降气缸，所述的升降气缸与上机架间设有与上机架相螺栓连接固定的横移轨道，所述的横移轨道与升降气缸间均设有与横移轨道相插嵌式位移连接的横移气缸。具有结构简单、操作方便和运行稳定性好的特点。解决了清洗液浪费的问题。实现合理使用清洗液用量，避免加工成本的损耗。防止了在清洗过程中任意漂浮出现碰撞现象损坏配件。

基本信息

专利标题：

一种炉管配件清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021810083.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-26

授权号：

CN213378358U

授权日：

2021-06-08

发明人：

叶邵凤

申请人：

杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号

代理机构：

杭州融方专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

沈相权

优先权：

CN202021810083.8

主分类号：

B08B9/093

IPC分类号：

B08B9/093