本实用新型涉及一种石英炉管清洗辅助装置，所属半导体加工生产设备技术领域，包括震动清洗机本体，所述的震动清洗机本体上设有与震动清洗机本体相活动式套接的石英炉管，所述的石英炉管内设有清洗辅助组件，所述的清洗辅助组件与震动清洗机本体间设有辅助清洗支架，所述的石英炉管两侧设有转动轴。所述的清洗辅助组件包括若干鼓泡管，两相邻鼓泡管间设有若干与鼓泡管相连通的连接管，所述的连接管上设有与连接管相连通的石英导气管，所述的鼓泡管上设有若干鼓泡孔。具有结构简单和清洗效果好的特点。解决了炉管内壁残留水汽的问题。避免了颗粒污染的风险。