一种MEMS催化燃烧传感器
授权
摘要
本实用新型属于传感器技术领域，具体涉及一种MEMS催化燃烧传感器及其加工方法。所述一种MEMS催化燃烧传感器，包括第一薄膜部分、第二薄膜部分，所述第二薄膜部分的两侧分别通过第一多孔磁性层对称连接所述第一薄膜部分；所述第一薄膜部分包括硅基底，以及以硅基底为衬底依次设置的第一氮化硅薄膜层、第一氧化硅薄膜层、第一加热敏感电阻层；所述第二薄膜部分包括依次设置的第二氮化硅薄膜层、第二氧化硅薄膜层、第二加热敏感电阻层、贵金属催化层；具有抗中毒、响应迅速和信噪比高的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS催化燃烧传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920436723.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-01
授权号 ：
CN209853722U
授权日 ：
2019-12-27
发明人 ：
王宣诏
申请人 ：
深圳邺诚科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室
代理机构 ：
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹卫良
优先权 ：
CN201920436723.4
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2019-12-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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