一种等离子设备的电极装置及等离子设备
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摘要
本实用新型公开了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，所述等离子设备的电极装置包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子设备的电极装置及等离子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920441813.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-02
授权号 ：
CN210274652U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
丁雪苗赵芝强赵公魄
申请人 ：
珠海宝丰堂电子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市金湾区红旗镇小林东成路118号
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
陈慧华
优先权 ：
CN201920441813.2
主分类号 ：
H05H1/24
IPC分类号 ：
H05H1/24
法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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