一种高精度差分电容MEMS接口电路及MEMS器件
授权
摘要
本实用新型公开了一种高精度差分电容MEMS接口电路及MEMS器件，该高精度差分电容MEMS接口电路用于将MEMS器件电容转换为电压，其包括：差分电容C1、差分电容C2、反馈电容C3、补偿电容C4、跨导放大器OTA、开关S0、开关S1、开关S2、开关S3和电压输出端。本实用新型的高精度差分电容MEMS接口电路通过在电路中接入开关S3和补偿电容C4，将开关S3和补偿电容C4并联后与跨导放大器OTA的正输入端连接，开关S3可与开关S1同时断开，开关S3可在补偿电容C4上建立补偿电压，用以补偿开关S1断开时在反馈电容C3上建立的误差电压，克服了开关电路引入的误差，提高了检测精度。
基本信息
专利标题 ：
一种高精度差分电容MEMS接口电路及MEMS器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920445586.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-03
授权号 ：
CN209497450U
授权日 ：
2019-10-15
发明人 ：
孙泉齐敏万中强乔东海
申请人 ：
江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区高铁新城环秀湖大厦(原怡城园艺)南三、四楼
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
冯瑞
优先权 ：
CN201920445586.0
主分类号 ：
H03K19/0175
IPC分类号 ：
H03K19/0175 G01D5/24
法律状态
2019-10-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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