用于放置喷嘴的装置

授权

摘要

本实用新型提供一种用于放置喷嘴的装置，其能够对喷嘴进行单独清洗，能够减少清洗液的使用量，避免不同的喷嘴之间的交叉污染，且能够预防多种光刻胶混合后发生反应形成结晶而堵塞排液管的情况发生，降低清洗腔及排液管的清洗频率；同时，喷嘴不需要移动就可以清洗，提高了设备的利用率，降低了生产成本；另外，在喷嘴闲置时，在清洗腔中可存放清洗液，利用清洗液的挥发，保证喷嘴闲置时也能够时刻处于湿润的状态，避免光刻胶在所述喷嘴上结晶，从而避免喷嘴被污染。

基本信息

专利标题：

用于放置喷嘴的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920450748.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-03

授权号：

CN209968752U

授权日：

2020-01-21

发明人：

张海陆王立聪颜廷彪

申请人：

德淮半导体有限公司

申请人地址：

江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙佳胤

优先权：

CN201920450748.X

主分类号：

B05B15/555

IPC分类号：

B05B15/555 H01L21/67