一种半导体封装设备的旋转平台机构
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种半导体封装设备的旋转平台机构,包括固定板,所述固定板的表面对称开设有安装槽,且安装槽内固定安装有升降气缸,升降气缸的输出端固定安装有升降台,升降台的上表面固定安装第一转轮,第一转轮的数量为四个,四个第一转轮的侧壁贴合有下转盘,下转盘的上表面通过支柱固定安装有晶圆扩膜钢圈,通过升降气缸控制升降台的升降,简化升降机构,使安装和调试更加方便,提高生产精度,通过电机、转动轮和同步带的传动,使电机可以控制上转盘和下转盘进行转动,方便对晶圆盘进行角度的调节,不再需要抓取头来完成转角,节约了工作时间,提高了生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种半导体封装设备的旋转平台机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920456776.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-07
授权号 :
CN209675251U
授权日 :
2019-11-22
发明人 :
李海洋
申请人 :
翼龙设备(大连)有限公司
申请人地址 :
辽宁省大连市金州区铁山西路95-2
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920456776.2
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-13 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 翼龙设备(大连)有限公司
变更后 : 翼龙半导体设备(无锡)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 116600 辽宁省大连市金州区铁山西路95-2
变更后 : 214135 江苏省无锡市新吴区汉江路15号环普国际产业园B区30号楼四楼
2019-11-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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