一种自动切换式修正机构
授权
摘要
本实用新型涉及高真空蒸发镀膜设备领域，公开了一种自动切换式修正机构，安装在镀膜设备的真空腔体上，其包括支杆、修正板和旋转马达；支杆一端穿过伸出真空腔体，支杆的另一端可转动的设置在真空腔体上；修正板固定安装在支杆上，修正板包括呈十字型交叉设置的第一修板和第二修板；当第一修板与公转镀锅平行相对，修正板处于第一修正状态；当第二修板与公转镀锅平行相对，修正板处于第二修正状态；伸出端与旋转马达连接；旋转马达每转动一次，则控制支杆绕自身轴线转动90度，从而控制修正板切换到第一修正状态或第二修正状态。通过上述方式，本实用新型能够满足蒸发特性相反的金属、在同一批次蒸发镀膜时、自动切换到对应形状的修板。
基本信息
专利标题 ：
一种自动切换式修正机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920463253.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-08
授权号 ：
CN209798082U
授权日 ：
2019-12-17
发明人 ：
王福平
申请人 ：
爱发科真空技术（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区苏虹东路277号
代理机构 ：
北京同恒源知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘宪池
优先权 ：
CN201920463253.0
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2019-12-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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