一种wafer自动切换机构
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及半导体封装技术领域,且公开了一种wafer自动切换机构,包括包括取片机构,设置有两个取片吸头、驱动所述两个取片吸头竖向移动的伸缩驱动机构、驱动所述两个取片吸头旋转运动的旋转驱动机构以及连接并驱动所述旋转驱动机构带动所述两个取片吸头横向移动的水平驱动机构。本实用新型取片机构由伸缩驱动机构、旋转驱动机构、以及水平驱动机构驱动完成两侧晶圆校正台内晶圆的切换,不仅满足自动化生产需求,解决了人工切换效率低的问题,且实现双边切换,有利于多边封装产生工艺的布设,进一步提高封装效率,具有较高的实用性。

基本信息
专利标题 :
一种wafer自动切换机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020266493.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-06
授权号 :
CN211455663U
授权日 :
2020-09-08
发明人 :
黄雄刘卫
申请人 :
深圳市昌富祥智能科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区航城街道三围社区航空路华丰工业园B栋8层
代理机构 :
佛山高业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈安平
优先权 :
CN202020266493.4
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  H01L21/68  H01L21/683  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-27 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/677
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳市昌富祥智能科技有限公司
变更后 : 深圳市昌富祥智能科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518100 广东省深圳市宝安区航城街道三围社区航空路华丰工业园B栋8层
变更后 : 518000 广东省深圳市宝安区航城街道鹤洲社区鹤州渔业村工业区综合楼六层
2020-09-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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