石墨盘加热用石英架
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种石墨盘加热用石英架,包括水平放置的石英大管,石英大管内壁的下侧弧面上紧贴有弯板,弯板上对称设有两根第一石英棒,弯板上方经第一石英棒卡设有石英架主体。本实用新型具有可以用于多扇大尺寸石墨盘的加热、在高温净化炉内进出拆卸便捷、石墨盘清洁效果好、使用寿命长的优点。

基本信息
专利标题 :
石墨盘加热用石英架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920466247.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-09
授权号 :
CN209778992U
授权日 :
2019-12-13
发明人 :
张彩根
申请人 :
湖州东科电子石英有限公司
申请人地址 :
浙江省湖州市南浔区经济开发区年丰西路1191号
代理机构 :
杭州新源专利事务所(普通合伙)
代理人 :
刘晓阳
优先权 :
CN201920466247.0
主分类号 :
C23C16/46
IPC分类号 :
C23C16/46  C23C16/44  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2020-04-17 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 16/46
变更事项 : 专利权人
变更前 : 湖州东科电子石英有限公司
变更后 : 湖州东科电子石英股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 313009 浙江省湖州市南浔区经济开发区年丰西路1191号
变更后 : 313009 浙江省湖州市南浔经济开发区年丰西路1191号
2019-12-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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