本实用新型公开了一种表面微小划痕检测仪，包括：设置于壳体内部的基座、滑块移动装置，偏心轮传动机构、光栅尺读数头移动装置和齿轮旋转机构。其中：使用内窥镜镜头粗定位划痕位置后将传感器探头对准划痕一侧，完成对划痕的粗定位。在完成粗定位后，采用偏心轮机构带动滑块移动装置跨过划痕位置，得到此过程的高度差，完成对划痕的深度信息的提取。宽度信息的获取依靠在此过程中起始和结束时的两个位移大幅下降点，得到该两点的距离为宽度信息。采用偏心轮传动机构、光栅尺读数头移动装置，可保证精确控制传感器探头的测量位置，提高重复定位精度。