双极板表面划痕检测系统及方法
授权
摘要

本发明涉及划痕检测技术领域,提供了一种双极板表面划痕检测系统及方法,该检测系统包括:光源组件、第一偏振片、第二偏振片、成像组件和控制单元;光源组件用于发射偏振光;第一偏振片布置在光源组件与待测双极板之间;第二偏振片布置在预设检测区域上方;成像组件布置在第二偏振片远离待测双极板的一侧,用于采集透射光束的光学成像信息。本发明通过合理布置第一偏振片和第二偏振片的位置对光学光路进行优化设计,从而得到划痕区域曝光被增强、其他区域曝光被减弱的光学图像,利用成像组件将双极板上的划痕凸显出来,使控制单元能够快速准确的判断出划痕的存在,从而提高划痕的检测精度,避免出现漏检和误检的问题。

基本信息
专利标题 :
双极板表面划痕检测系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114324369A
申请号 :
CN202210234835.8
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-03-11
授权号 :
CN114324369B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
齐志刚陈国飞龚钦曾爱军
申请人 :
北京新研创能科技有限公司;南京先进激光技术研究院
申请人地址 :
北京市大兴区北京经济技术开发区永昌中路甲6号院1号楼3层301
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
李旦华
优先权 :
CN202210234835.8
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88  G01N21/21  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-06-07 :
授权
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20220311
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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