尾气处理系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种尾气处理系统，涉及多晶硅加工技术领域，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的尾气处理系统。本实用新型的主要技术方案为：一种尾气处理系统，包括：精馏部，所述精馏部用于精馏尾气；存储部，用于存储氯硅烷；冷却部，所述冷却部包括空气冷却部件、冷凝部件和分离部件，所述空气冷却部件的一端连接于所述精馏部，另一端连接于所述分离部件，用于向所述分离部件通入混合物料，所述分离部件的一端连接于所述冷凝部件，用于向所述冷凝部件输送气体物料，另一端连接于所述存储部，用于向所述存储部输送液体物料，所述存储部连接于所述精馏部，用于向所述精馏部输送液体物料。本实用新型主要用于尾气处理。

基本信息

专利标题：

尾气处理系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920525825.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-18

授权号：

CN210021649U

授权日：

2020-02-07

发明人：

牟平

申请人：

新疆大全新能源股份有限公司

申请人地址：

新疆维吾尔自治区石河子市经济开发区化工新材料产业园纬六路

代理机构：

北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

王伟锋

优先权：

CN201920525825.3

主分类号：

B01D53/18

IPC分类号：

B01D53/18 B01D53/00