提高酸性蚀刻液再生回用率的系统

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摘要

本实用新型揭示一种提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其包括蚀刻产线、电解装置、添加装置、再生液调配装置以及再生液ORP提升装置，蚀刻产线的富铜酸性蚀刻废液经电解装置电解后成氯气和贫铜电解清液，贫铜电解清液与蚀刻产线的低ORP酸性蚀刻液混合形成再生酸性蚀刻液，再生液ORP提升装置对酸性蚀刻液进行逆流喷射，并与氯气碰撞，获得高ORP酸性蚀刻再生液再返回蚀刻产线。本申请通过再生液ORP提升装置的设置，获得高ORP酸性蚀刻再生液再返回蚀刻产线，以提高蚀刻产线上酸性蚀刻液的ORP，替代了传统蚀刻产线添加氧化剂与盐酸的方式，提高了蚀刻废液的再生回用率，降低了化学剂的使用和废水的排放。

基本信息

专利标题：

提高酸性蚀刻液再生回用率的系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920540358.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-19

授权号：

CN209836312U

授权日：

2019-12-24

发明人：

刘剑锋高东瑞李强

申请人：

惠州市臻鼎环保科技有限公司

申请人地址：

广东省惠州市东江高新区东兴片区东新大道106号东江创新大厦内16楼1602室

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司

代理人：

王华强

优先权：

CN201920540358.1

主分类号：

C23F1/46

IPC分类号：

C23F1/46 C25C1/12 C25C7/00