单晶炉的炉内清洁装置
授权
摘要
本实用新型公开一种单晶炉的炉内清洁装置,包括低速电机,所述低速电机的输出轴通过连接块连接有丝杠螺母,丝杠螺母转动连接有丝杠,丝杠的下端固定连接有转筒,转筒的下端面设置有连接轴,连接轴的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆和第二伸缩杆,第一伸缩杆的左侧面通过第一固定块固定连接有清洗部,第二伸缩杆的右侧面通过第二固定块固定连接有吸尘部,本实用新型在清洗部中采用可更换的除尘布的方式,有效避免产生二次性的碎屑,通过可伸缩的装置,清洗部和除尘部可以适用于不同的型号的单晶炉,通过低速电机的转动实现全方位的清洁,减少劳动力的劳动强度,提高工作效率。
基本信息
专利标题 :
单晶炉的炉内清洁装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920567197.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-24
授权号 :
CN210146609U
授权日 :
2020-03-17
发明人 :
魏海宁孔祥传
申请人 :
徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 :
北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
华德明
优先权 :
CN201920567197.5
主分类号 :
B08B9/08
IPC分类号 :
B08B9/08 C30B35/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器,如槽的清洗
法律状态
2020-03-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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