本实用新型公开了一种半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置，包括：N个合束子系统以及用于将N个合束子系统输出的子光束进行合束的光栅对；合束子系统包括半导体激光叠阵以及沿半导体激光叠阵的出射光的光路方向依次设置的快轴准直镜、慢轴准直镜、变换透镜、第一光栅和输出镜；光栅对包括相互平行设置的第二光栅和第三光栅。本实用新型先利用外腔与半导体激光器后腔面组成外腔半导体激光器，使不同的合束单元锁定在不同的波长，再利用光栅的色散作用，将各个半导体激光叠阵发出的激光束在空间重叠成一束输出，能在提升输出功率的同时保持良好的光束质量水平，这样合束后的光束质量得到了极大的改善，实现了高功率高光束质量的合束输出。