激光光束质量测量装置

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种激光光束质量测量装置，包括聚焦透镜、衰减片、采集光斑的CCD和带有高速采集卡的计算机，其特点是所述的衰减片是一漫散射板，在所述的聚焦透镜和漫散射板之间有一分光器件，该分光器件由与光路成45°平行放置在光路中的第一平板和第二平板构成，该第一平板和第二平板有一错位m，第一平板的内表面的反射率为100％，第二平板内表面的反射率的取值范围为90％～99％，第二平板的外表面镀有增透膜。本发明可以对重复率、高能激光器的光束质量进行准确的测量，它既能对高斯光束进行测量，又能对非高斯光束的光束质量用桶中功率比的方法评价，本发明还具有结构简单、实用和稳定的特点。

基本信息

专利标题：

激光光束质量测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1800794A

申请号：

CN200610023419.4

公开（公告）日：

2006-07-12

申请日：

2006-01-18

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

于永爱唐前进张玲玲胡企铨

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

优先权：

CN200610023419.4

主分类号：

G01J1/00

IPC分类号：

G01J1/00