压合结构和热固化装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型提供一种压合结构和热固化装置,该压合结构用于调整压合板压合至待压基片上,包括驱动机构,驱动机构的动力输出端与压合板活动连接,还包括连接在驱动机构的动力输出端的弹性机构,弹性机构与压合板活动连接,能够调整驱动机构施加到压合板上的压合力。该压合结构使驱动机构的驱动力能比较缓和地逐渐施加到压合板上,从而在压合板与待压基片之间存在安装平行度误差的情况下,能够使压合板与待压基片在弹力作用下逐渐压合,最终实现压合板与待压基片的均匀贴合。
基本信息
专利标题 :
压合结构和热固化装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920583749.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-25
授权号 :
CN209487530U
授权日 :
2019-10-11
发明人 :
王进福李小凤兰立广杨巍
申请人 :
东泰高科装备科技有限公司
申请人地址 :
北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
彭瑞欣
优先权 :
CN201920583749.1
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2021-02-23 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 31/18
登记生效日 : 20210204
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东泰高科装备科技有限公司
变更后权利人 : 紫石能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
变更后权利人 : 102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
登记生效日 : 20210204
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东泰高科装备科技有限公司
变更后权利人 : 紫石能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
变更后权利人 : 102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2019-10-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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