本实用新型公开了一种基于Delta并联机构的三坐标测量机，主动杆的上端通过转动副设置在静平台上，从动杆是由上短杆、下短杆和两侧长杆在相邻接的杆件之间以球铰连接形成的平行四边形构件，利用各下端球铰对动平台形成支撑，测杆设置在动平台的中心位置上，触发式测头用于触碰被测工件；三个主动杆的回转轴上同心设置三个圆光栅角度传感器分别测量三根主动杆的回转角度；三个主动杆上同轴设置步进电机实现驱动，在控制单元控制下实现测头按照所需测量运动路线运动，当测头触碰到被测件表面，机构停止运动，同时触发三个圆光栅传感器读取当前位置的回转角度，再根据测量模型，由三个角度值得出测头的空间位置坐标。