一种磨削主轴坐标测量机构
授权
摘要
本实用新型提供了一种磨削主轴坐标测量机构，所述磨削主轴的边缘一圈设置金刚石砂轮座，所述砂轮座的底面设置一圈金刚石砂轮牙齿，所述金刚石砂轮牙齿用于磨削真空吸盘台面上的晶圆，所述测量机构包括：用于获得磨削主轴的基准Z轴坐标的标准块规；固定设置于固定座上并位于磨削主轴下方的检测传感器，所述检测传感器还具有传感器伸缩头，所述传感器伸缩头位于所述金刚石砂轮牙齿的正下方，用于检测磨削主轴的金刚石砂轮位置数据；以及计算单元，所述计算单元与所述检测传感器连接，用于计算获得所述磨削主轴的当前Z轴坐标。本实用新型可快速确定磨削主轴新的基准Z轴坐标数据，能够节省时间，提高效率，并且操作简单。
基本信息
专利标题 ：
一种磨削主轴坐标测量机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123074554.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-09
授权号 ：
CN216442328U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
梁猛林海涛赵凯李彬宋振兴
申请人 ：
技感半导体设备（南通）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市开发区苏通科技产业园江成路1088号江成研发园1号楼1529-145室（CSSD）
代理机构 ：
上海远同律师事务所
代理人 ：
丁利华
优先权 ：
CN202123074554.0
主分类号 ：
B24B49/00
IPC分类号 ：
B24B49/00 B24B7/22
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B49/00
用于控制磨具或工件进给运动的测量或校准装置；指示或测量装置的布置，如用于指示磨削加工开始的
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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