晶圆磨削主轴组件

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆磨削主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和左右倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨、沿滑轨竖直移动的滑块和调节板，所述调节板贴合连接所述滑块的外侧面和所述翼板的侧面，其中，所述滑块的外侧面平行于所述翼板的侧面；所述左右倾斜机构包括上部调节螺栓、下部调节螺栓和转动轴；所述转动轴垂直地贯穿翼板正面插入滑块，使得主轴座可连同主轴整体绕转动轴转动以调节倾斜角度，并由上部调节螺栓和下部调节螺栓固定。

基本信息

专利标题：

晶圆磨削主轴组件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021540320.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-30

授权号：

CN213164839U

授权日：

2021-05-11

发明人：

路新春刘远航赵德文王江涛

申请人：

华海清科（北京）科技有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021540320.3

主分类号：

B24B41/04

IPC分类号：

B24B41/04