可倾斜的晶圆磨削主轴组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种可倾斜的晶圆磨削主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和前后倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨和沿滑轨竖直移动的滑块；所述翼板经由螺栓固定至所述滑块；所述前后倾斜机构包括上部垫板和下部垫板，所述上部垫板和下部垫板分别向下地和向上地插入滑块与翼板之间以通过调整所述上部垫板和/或下部垫板插入的距离调节主轴座的前后倾斜的角度，其中，所述上部垫板和下部垫板中的至少一个为楔形板。
基本信息
专利标题 ：
可倾斜的晶圆磨削主轴组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021541511.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
CN213164517U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
刘远航赵德文王江涛韩理文
申请人 ：
华海清科（北京）科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021541511.1
主分类号 ：
B24B7/22
IPC分类号 ：
B24B7/22 B24B41/04 B24B41/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置，包括抛光平面玻璃表面；及其附件
B24B7/20
以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的
B24B7/22
用于磨削无机材料，如石头，陶瓷，瓷器
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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