一种自动倾斜晶圆载片装置
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摘要
本实用新型公开一种自动倾斜晶圆载片装置，将晶圆置入装置中，将所述自动倾斜晶圆载片装置垂直置入清洗机中，进行清洗作业。作业时所述自动伸缩杆远离连接主轴的一侧超过所述载片装置的最底端，同时自动伸缩杆的长度长于其他垂直杆体。从而实现了自动倾斜以及复原的功能。进而提升晶圆清洗的均匀性、高效性，同时达到自动倾斜、高效、环保、节能的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种自动倾斜晶圆载片装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921736780.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-16
授权号 ：
CN210535635U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
林锦伟林伟铭钟艾东甘凯杰翁佩雪邓丹丹赵玉会吴恋伟
申请人 ：
福建省福联集成电路有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐剑兵
优先权 ：
CN201921736780.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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