载片检测装置
授权
摘要
本申请提供一种载片检测装置，该载片检测装置包括第一限位件以及第二限位件。其中，第一限位件包括第一光滑表面；第二限位件包括第二光滑表面。第一限位件与第二限位件连接，在第一光滑表面与第二光滑表面之间形成预设间距的通道，且该通道允许厚度在预设范围内的载片通过。通过该通道方便用户快速检测待测试载片表面的平整度。
基本信息
专利标题 ：
载片检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921918655.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-08
授权号 ：
CN210570454U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
彭彧王磊
申请人 ：
嘉盛半导体（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区西沈浒路88号
代理机构 ：
北京超成律师事务所
代理人 ：
韩梦嘉
优先权 ：
CN201921918655.1
主分类号 ：
G01B5/28
IPC分类号 ：
G01B5/28 G01C9/34
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/255
••用于检测轮子的准直
G01B5/28
用于计量表面的粗糙度或不规则性
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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