自动插片机移载托片装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种自动插片机移载托片装置，包括托片装置和石英舟移载装置，所述托片装置与所述石英舟移载装置的相邻且可将石英舟移载装置中承载的硅片向上托起；通过设置石英舟移载装置实现硅片统一移动至后续工位，移载过程中空的石英舟可以快速取出并换上放满硅片的石英舟，从而提高了工作效率。顶出装置的设置使硅片在被吸取或夹紧时更为稳定，避免硅片在工作过程中损坏，提高了产品的良品率。
基本信息
专利标题 ：
自动插片机移载托片装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020487560.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-03
授权号 ：
CN211789064U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
季徐华杨海波
申请人 ：
无锡森顿智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市城南路212号A8
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
聂启新
优先权 ：
CN202020487560.5
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677
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法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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