自动插片机
授权
摘要
本实用新型涉及一种自动插片机，工作台，于工作台上安装至少一石英舟移载装置、至少一顶出装置、至少一夹紧装置、至少一多轴伺服装置、至少一吸取装置及至少一花篮移载装置，所述至少一石英舟移载装置用于石英舟的直线运动，所述至少一花篮移载装置用于花篮的直线运动，所述至少一夹紧装置安装在所述多轴伺服装置上用于夹紧硅片，所述至少一吸取装置安装在所述多轴伺服装置的至少一运动端，以用于吸取硅片。与现有技术相比，本实用新型解决了传统人工搬运的方式，具有自动化程度高的有点，省时省力，不仅降低了工人的劳动强度，还提高了企业硅片输送的效率。
基本信息
专利标题 ：
自动插片机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020484110.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-03
授权号 ：
CN211858611U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
季徐华杨海波
申请人 ：
无锡森顿智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市城南路212号A8
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
聂启新
优先权 ：
CN202020484110.0
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211858611U.PDF
PDF下载
