本实用新型公开覆贴ITO薄膜TFT玻璃基板的堆栈机构，堆栈机构设有堆栈滑台气缸、堆栈升降气缸、堆栈吸盘组件、堆栈限位组件和堆栈底座；堆栈滑台气缸通过滑台支架固定在堆栈框体内，堆栈升降气缸固定在堆栈滑台气缸的活动端，堆栈吸盘组件安装在堆栈升降气缸的工作端，堆栈限位组件分布在堆栈框体内、从而限制每个玻璃基板在堆栈过程中对齐；堆栈底座安装在堆栈框体的下部，用于放置玻璃基板；堆栈吸盘组件设有固定板、滑槽板和吸盘组件；固定板上表面与堆栈升降气缸的工作端固定；滑槽板一端固定在以固定板与堆栈升降气缸接触处的外周边；滑槽板另一端向外延伸；吸盘组件固定在滑槽板上；滑槽板上还设有限位组件。