一种MOCVD腔体保养工具
授权
摘要
本实用新型涉及一种MOCVD腔体保养工具，包括能与MOCVD腔体内壁贴合的铲斗，在铲斗后端设置有与铲斗内连通的吸污管，在吸污管与铲斗之间设置有轴承。本实用新型结构简单，操作简便，能对MOCVD腔体进行清污保养。
基本信息
专利标题 ：
一种MOCVD腔体保养工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920599448.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-29
授权号 ：
CN209998052U
授权日 ：
2020-01-31
发明人 ：
钟祺施文贞王楠刘逸欣
申请人 ：
福建中科光芯光电科技有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市石狮市高新区创新创业中心11#厂房1层
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
蔡学俊
优先权 ：
CN201920599448.8
主分类号 ：
B08B9/087
IPC分类号 ：
B08B9/087 B08B9/08 B08B9/043
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器，如槽的清洗
B08B9/087
包括使用工具，如刷子、刮刀的方法的
法律状态
2020-01-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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