一种MOCVD腔体清洁工具
授权
摘要
本实用新型涉及一种MOCVD腔体清洁工具，包括主体，在主体一端设置有梯形刮刀，在主体另一端设置有坡面刮刀，在坡面刮刀上设置有纳米海绵块。本实用新型结构简单、操作简便，能对MOCVD腔体进行清洁。
基本信息
专利标题 ：
一种MOCVD腔体清洁工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920896289.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-14
授权号 ：
CN211027165U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
施文贞钟祺王楠刘逸欣
申请人 ：
福建中科光芯光电科技有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市石狮市高新区创新创业中心11#厂房1层
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
林捷
优先权 ：
CN201920896289.8
主分类号 ：
B08B1/00
IPC分类号 ：
B08B1/00 B08B5/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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