本发明提供一种腔体清洁装置，装置包括抽吸结构和擦拭结构；抽吸结构包括抽吸基体和过渡管，抽吸基体具有沿自身轴向贯通的抽吸通道，抽吸通道的第一端用于伸入半导体设备的腔体中，抽吸通道的第二端与过渡管连通，过渡管用于外接一抽真空设备；擦拭结构包括驱动马达、与驱动马达连接的转轴、与转轴固定连接的承载块以及设置于承载块上的至少一块无尘布；驱动马达用于驱动转轴围绕自身的中心轴线转动。使用中，工作人员可先使用抽吸结构将腔体底部的颗粒物抽吸出来，随后通过擦拭结构对腔体底部进行旋转擦拭清洁，工作人员仅需在腔体的外部操纵所述的腔体清洁装置，可避免工作人员穿着的无尘服被腔体内的棱角凸出物勾出毛絮而产生额外的污染物。