一种层压机真空阀门系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种层压机真空阀门系统，包括真空泵以及与真空泵经真空管连接的上室和下室；在上室的真空管上增设与盖放小气阀、上盖放大气阀实现开关联动的第一电磁阀，在下室的真空管上增设与工作台放小气阀、工作台放大气阀实现开关联动的第二电磁阀。本实用新型能够有效预防因上盖放小气阀、上盖放大气阀和工作台放小气阀、工作台放大气阀发生故障无法关闭而引起真空泵抽真空异常，避免组件报废。

基本信息

专利标题：

一种层压机真空阀门系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920613112.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-30

授权号：

CN210257575U

授权日：

2020-04-07

发明人：

王晓东武绍帅

申请人：

张家港协鑫集成科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市张家港市杨舍镇晨丰公路288号1-6

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

陆金星

优先权：

CN201920613112.2

主分类号：

B32B37/10

IPC分类号：

B32B37/10 H01L31/18