一种静压导轨直线度测量装置

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种静压导轨直线度测量装置，包括：基座；设置在基座上方的溜板；固定在溜板顶部中央的三维精密调整平台；放置在三维精密调整平台上的高精度玻璃圆盘，高精度玻璃圆盘与三维精密调整平台之间通过高压气体悬浮形成气体静压相对移动导轨；安装在基座一侧的仪器座，仪器座上竖直安装有仪器支柱，仪器支柱的顶部安装有仪器横向支承，仪器横向支承延伸至高精度玻璃圆盘上方，精密电容传感器固定在仪器横向支承上且向下正对高精度玻璃圆盘设置。本静压导轨直线度测量装置结构简单，操作方便，检测成本较低、测量过程中不受外部环境影响，测量精度高。

基本信息

专利标题：

一种静压导轨直线度测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920639348.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-07

授权号：

CN210625572U

授权日：

2020-05-26

发明人：

邱海彬

申请人：

广州克勤教育咨询有限公司

申请人地址：

广东省广州市市番禺区桥南街南华路359号(塔楼一栋)1611房

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920639348.3

主分类号：

G01B7/31

IPC分类号：

G01B7/31