一种真空腔驱动器，包括一基座、一活塞、一驱动件及一金属波纹管，该基座供结合在一真空腔体上，内部具有一滑槽，该活塞可往覆滑移地设于该滑槽之中，该活塞上一体设有一活塞杆，该活塞杆延伸到该真空腔体的内部，该驱动件结合于该活塞杆的上端，该金属波纹管包覆于该活塞杆的外部，且下端结合在该基座上，上端结合在该驱动件的底部，可随着该活塞杆弹性伸缩，并使该活塞杆在作动时该真空腔体的内部仍维持在真空状态；藉此可大幅延长金属波纹管的使用寿命。