晶圆摆臂旋转机构
授权
摘要

本实用新型提供了一种晶圆摆臂旋转机构,包括;旋转座,所述旋转座转动连接在基座上,所述基座的下端设有支座,摆臂,所述摆臂通过连接座能上下移动的连接在所述旋转座上;其中,所述支座上连接有能上下移动的半圆形上下转环,所述半圆形上下转环环绕在所述旋转座外侧,所述半圆形上下转环具有半圆形滑道;所述连接座上连接有支撑块,所述支撑块上转动连接有滚轮,所述滚轮转动连接在半圆形滑道内。通过滚轮在半圆形滑道内转动,为摆臂转动时提供一个支撑点,从而保证摆臂在转动时不会出现偏移的效果。

基本信息
专利标题 :
晶圆摆臂旋转机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920649093.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-07
授权号 :
CN209434161U
授权日 :
2019-09-24
发明人 :
向军冯霞霞封浩
申请人 :
江苏新智达新能源设备有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市梁溪区会北路26-14
代理机构 :
南京中高专利代理有限公司
代理人 :
祝进
优先权 :
CN201920649093.9
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2019-09-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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