高精度光学实验平台设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种高精度光学实验平台设备，包括粗对焦机构、细对焦机构和检测机构，所述粗对焦机构包括驱动所述检测机构在Z轴方向上运动的驱动单元，所述细对焦机构包括实验平台、分别驱动所述实验平台在X轴、Y轴、Z轴方向上运动的第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元，所述第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元均包括设置在实验平台上的调节块、能够对调节块施加第一作用力的螺旋测微件、能够对所述调节块施加第二作用力的复位弹簧，所述第一作用力和第二作用力大小相同且方向相反。本实用新型至少包括以下优点：采用粗对焦和细细对焦相结合的方式，一方面保证了测量精度，另一方面通过手动调节的方式，降低了生产成本。

基本信息

专利标题：

高精度光学实验平台设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920653620.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-08

授权号：

CN210181900U

授权日：

2020-03-24

发明人：

顾勇强杨松张深逢

申请人：

逸美德科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区双溇里路15号

代理机构：

苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

周子轶

优先权：

CN201920653620.3

主分类号：

G09B23/22

IPC分类号：

G09B23/22